真空系統(tǒng)中應(yīng)用多的密封材料是橡膠類的材料。但橡膠密封大多不耐烘烤而且在室溫下放氣量較大。因此在一些需要高溫烘烤或者不能有大放氣量的超高真空系統(tǒng)下，就不宜使用橡膠密封，而需要使用金屬密封。

首先說優(yōu)點：金屬密封的突出優(yōu)點就是它的放氣量要遠比橡膠材料小，可以減少對真空度的影響；其次金屬密封的真空系統(tǒng)可以在高溫下烘烤除氣，滿足超高真空系統(tǒng)的要求，除了氟橡膠和硅橡膠，大部分的橡膠密封材料很難在200℃以上的高溫持續(xù)工作并保持良好穩(wěn)定性；此外金屬密封對腐蝕環(huán)境等有著更好的抵抗性以及抗沖刷能力。

雖然金屬密封有著這些優(yōu)點，但問題與缺點同樣不少：，金屬密封的彈性大多比較差，需要有很大的密封力才能保證可靠的真空密封；第二，金屬密封的重復使用性很差，有些金屬密封只能使用一次；第三，法蘭密封面和刀口的粗糙度、配合精度要求很高，細小的傷痕都會破壞密封，大尺寸的法蘭加工更加困難；第四，密封圈和法蘭材料的線膨脹系數(shù)相差很大，加熱不均勻或密封結(jié)構(gòu)設(shè)計不正確，就會引起局部變形造成漏氣，等等。

因此，常規(guī)真空系統(tǒng)中的密封材料使用需要因地制宜，在需要高溫烘烤及超高真空系統(tǒng)等特殊需求條件下，金屬密封才會表現(xiàn)出優(yōu)勢。